一、工作原理

 

　　真空电容压力计内部有一对平行的金属板，当气体分子在两板之间运动时，会引起电容的变化。由于气体分子数与气体压力成正比，因此可以通过测量电容的变化来确定气体压力。

 

　　二、技术特点

 

　　高精度：真空电容压力计具有高灵敏度和高分辨率，能够精确测量气体压力。

 

　　长期稳定性：使用高稳定电容敏感元件，具备优异的长期稳定性。

 

　　抗过压能力强：能够承受较高的压力，不易损坏。

 

　　可重复性：先进制造技术与工艺保障了应用场景中的可重复性。

 

　　三、应用领域

 

　　真空电容压力计广泛应用于多个领域，包括但不限于：

 

　　半导体制造：用于精准控制真空环境，确保半导体制造过程中的稳定性和可靠性。

 

　　真空冶金：测量高炉、转炉、电炉等设备的工作压力，优化生产过程和产品质量。

 

　　石油化工：测量各种介质的压力，满足石油化工行业对压力测量的严格要求。

 

　　科研试验：测量材料在不同压力下的物理性能，为科学研究提供数据支持。

 

　　真空电容压力计

 

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