采用新型光学反射探测系统测量高度，同时应用电磁力控制探针压力，能有效实现超微力和低惯量。探针的接触式测量技术的优点是直接测量，与材料特性无关。多种力度调节和探针尺寸选择可以让机台对各种结构和材料进行准确测量。这些功能可以表征因添加或移除材料而引起的形貌特征改变，以及测量由材料结构改变引起的粗糙度和应力变化。

　　探针式轮廓仪（台阶仪）应用范围

　　2D/3D 表面形貌扫描

　　纳米至1200μm台阶高度测量

　　粗糙度和波纹度测量

　　样品翘曲和曲率半径测量

　　2D薄膜应力测量

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　　技术特点

　　优秀的重复性和再现性

　　接触式测量，适用于多种材料

　　测量软材料的微力控制

　　梯形失真校正可消除侧视视图造成的失真

　　弧形校正补偿探针的弧形运动

　　型号

　　D500

　　D600

　　台阶高度

　　5nm~1200μm

　　分辨率

　　0.38?

　　重复性

　　5?（1μm台阶）

　　载力范围

　　0.03mg~15mg

　　视频

　　5MP高分辨彩色相机

　　样品台

　　140mm手动XY轴，Z轴自动

　　200m三轴自动

　　单次扫描

　　30mm

　　55mm

　　图像拼接

　　80mm

　　200mm

　　梯形失真校正

　　消除侧视视图造成的失真

　　弧形校正

　　消除探针的弧形运动引起的误差

　　扫描模式

　　2D

　　2D/3D

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