小流量气体流量计（Mass Flow Controller）是基于业内*的微机电（MEMS）流量传感器芯片技术，结合高速采样处理技术和数字补偿算法，所开发的一款智能化、高精度可进行准确的质量流量控制的气体质量流量控制器产品。

　　小流量气体流量计介绍：

　　温度和压力不敏感

　　超快的响应速度

　　多种信号输出方式

　　公司专注于MEMS流量传感器芯片、流量计、质量流量控制器、数字风速计等气体流量检测芯片和模组的研发和销售，晶圆制造交由国外晶圆厂代工，封装交由母公司制造平台负责，该平台具有9000平米千级无尘封测车间，具有ISO9001,ISO14001,IATF16949等品质管理和制造认证。相关流量计及控制器产品被广泛应用于气体检漏、气体分析仪、实验室、计量院、热氧化炉、扩散炉等领域

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