KLA Zeta-20白光共聚焦显微镜基于ZDot技术而来。Zeta-20白光共聚焦显微镜可以对大部分材料和结构进行成像分析，从光滑到高粗糙度、低反射率到高反射率表面、透明到不透明介质。KLA Zeta-20白光共聚焦显微镜使用模块化设计理念，为用户提供了一系列的硬件和软件选项来满足各种不同的测量需求，所有硬件安装和操作都简单易用。

KLA白光共聚焦显微镜特点：

Zeta-20白光共聚焦显微镜提供多种光学测试技术，以满足用户各种不同领域的测试需求。

ZDotZ点阵三维成像技术是Zeta所有系列产品的标配技术，Z点阵的明暗场照明方案结合不同物镜帮助客户测量“困难"的表面。

ZIC干涉反衬成像技术，实现纳米级粗糙度表面的成像及分析。

ZSI白光差分干涉技术，垂直方向分辨率可达埃级。

ZI白光干涉技术，大视场下纳米级高度的理想测量技术。

ZFT反射光谱膜厚分析技术，集成宽频反射光谱分析仪，可测量ULA+2et-20薄膜材料的厚度、折射率和反射率。

产品优势：

重复性和再现性

接触式测量，适用于多种材料

测量软材料的微力控制

梯形失真校正可大幅度减少侧视图造成的失真

弧形校正补偿探针的弧形运动

产品测量原理：

KLA Zeta-20白光共聚焦显微镜的原理是通过共聚焦原理实现样品的高分辨率、高对比度的光学切片能力。它结合了传统光学显微镜和激光共聚焦显微镜的特点，利用宽谱白光作为光源，通过空间滤波机制消除离焦光干扰，从而获得高精度的三维图像。

白光共聚焦显微镜

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